основен
KRI Холски ионен източник Gridless
CTI на борда IS 低温泵
HVA вакуумен правоъгълен клапан
Пълномагнитна плаваща турбомолекулна помпа
Хладилник с ултраниска температура Thermonics
Инструмент и измервателен уред
Hakuto йонна гравираща машина IBE
Hakuto йонна гравираща машина 20IBE-J
Успешна операция!