основен
KRI Холски ионен източник Gridless
CTI на борда IS 低温泵
HVA вакуумен правоъгълен клапан
Пълномагнитна плаваща турбомолекулна помпа
Хладилник с ултраниска температура Thermonics
Инструмент и измервателен уред
Термокатоден вакуумметър PBR 260 IMR 265
Успешна операция!