основен
Инструмент и измервателен уред
Вакуумни части
VCL едноръчна въздушна тръба висачка
ALA дължина работещ робот
Голяма абсорбция HL
тигел преносител HTG
Обратно усукач BLS
Помощни роботи
Твърда ръка помощни роботи
ALC ширина работещ робот
Преносител HTC
Успешна операция!