· Площта е трислойна климпирана клетъчна поддържаща структура с високопроводима магнитна неръждаема стомана Icr17

· Изолационни материали с прецизен тип професионален амортизатор и национален стандарт амортизация изолация подложка

· Природна честота до минимум 3Hz, силно удряне

Могат да бъдат създадени според нуждите на клиента (Lшрифт,Tшрифт,VПрецизни оптични платформи

Плоснината не е по-голяма от 0,05 мм㎡

· Повърхностна грубост по-малко от 0.8um ~ 1.6um

Природна честота 3Hz - 6Hz

Амплината не е по-голяма от 5um

Повтаряща се точност на позициониране+0.05mm