При подготовката на свръхчиста вода, разяснението на TOC (общ органичен въглерод) е от решаващо значение, като се използва UV-185nm ниско налягане високоенергийна ултравиолетова технология и в комбинация с UV-254nm ултравиолетови стерилициди, които могат да произвеждат хидроксилни свободни радикали във водата чрез висока доза UV-185nm ултравиолетова фотокатализа, за да намалят съдържанието на TOC във водата