Общо
Масовият потокметър е изключително важна част от оборудването за производство на полупроводници. Неговата стабилност често се превръща в ключов фактор за успеха или неуспеха на полупроводниковите процеси.
HORIBA STEC, Като производител на протокометри с пазарен дял над 35%*1 в световен мащаб, ние отдавна непрекъснато предлагаме висококачествени и многофункционални продукти за полупроводниковата индустрия. Сега, с новата си технология, HORIBA STEC предлага в световен мащаб нов тип контролер на потока: серия Z500.
В сравнение с старите модели, серията Z500X представлява напълно нов пробив и е обречена да промени бъдещето на технологиите за контрол на потока. Осигурявайки всички функции за контрол на потока, необходими за клиента, се осъществява преобразуването на композитни газове и композитни потоци. Клиентите могат лесно да променят вида и обхвата на газовете за измерване на потока в зависимост от нуждите на процеса*2.
Освен това, чрез техническите иновации в материалите на продуктите, серията Z500 напълно отговаря на изискванията за дизайн на RoHS за зелени продукти, повишавайки стойността на продуктите за клиентите.
Високоефективните дебитометри от серията Z500 ще ви донесат още изненади. Светът е свидетел на раждането на този нов тип масов дебитометър, който скоро ще промени цялата полупроводникова индустрия.
*1 Изследване на VLSI за 2007 г.
*2 Композитни газове, композитни потокови функции.
Характеристики
Висока точност: настройка на стойността на потока ± 1,0%.
Линейната точност на MFC се компенсира от многономна крива за приближаване, която гарантира висока точност на контрола във всеки контролен диапазон. За да подобри точността на контрола на различни видове действителни газове, HORIBA STEC разработи стандартна система за измерване на газовете и събира данни за калибриране на различни процесни газове въз основа на голям брой експерименти.
Високоскоростен отговор
SEC-Z500X използва най-новата разработена система "променлив PID", която гарантира, че промяната между всяка от двете настроени точки на потока се извършва в рамките на 1 секунда.
Композитни газове, композитни потокови схеми
Новите продукти на HORIBA STEC позволяват на клиентите лесно да променят вида на газа и потока на място. Нашият софтуер за настройка на Z500 е лесен и лесен за използване. По-добре е, че тези промени дори не изискват демонтиране на MFC от системата. По този начин може значително да се намали броят на резервните части на клиентите, като същевременно се спестят време и разходи.
Продукти и други